3.3.2 Sensitivität und Selektivität optischer und neuartiger MEMS-Wasserstoffsensoren

M. Wienecke, L. Godenrath & B. Zacharias
In diesem Beitrag werden die Potenziale von optisch schaltenden Pd-Dünnfilmsensoren (POS) untersucht sowie neuartige mikro-elektro-mechanischen Systeme (MEMS), die die Volumenänderung bei der Hydrierung des Pd ausnutzen. Beide Systeme können Wasserstoffkonzentrationen von 0,1 bis 100 vol % sicher und reproduzierbar nachweisen. Das physikalische Schalten von Pd bei der Einlagerung von Wasserstoff ist frei von Querempfindlichkeiten. Die Ansprechzeiten betragen unter 30 s (optischer Sensor) bzw. 5 s (MEMS-Sensor). Mit Pd-basierten MEMS-Sensoren können minimale Nachweisgrenzen von 100 ppm...
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