6.3.3 Bestimmung des Mischungsverhältnisses eines strömenden Gasgemisches

J. Stauffenberg, S. Durstewitz, M. Hofmann, T. Ivanov, M. Holz, J.-P. Zöllner, M. Ziegler, I. W. Rangelow, W. Ehrhardt & W.-U. Riegel
Mikrocantilever bieten ein breites Anwendungsspektrum in der Sensorik und der Messtechnik. In dieser Arbeit werden Cantilever als Strömungssensoren verwendet. Die meisten konventionell erhältlichen Strömungssensoren sind oft nur auf eine Gasart kalibriert und lassen eine Analyse von Gasgemischen nur mit erhöhtem Aufwand zu. Bei den hier angewendeten Sensoren wird ein Cantilever senkrecht im Strömungskanal positioniert. Dabei ist es möglich, den Sensor im dynamischen und im statischen Modus zu betreiben. Im dynamischen Modus wird der Cantilever in...
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