P1.15 Mittels aerosolbasierter Kaltabscheidung bei Raumtemperatur hergestellte schichtförmige NTC-Thermistorbauelemente

R. Moos, M. Schubert, C. Reichl, J. Kita & C. Münch
In der vorliegenden Arbeit konnte gezeigt werden, dass eine aerosolbasierte Kaltabscheidung eines produktionsnahen NTCR-Keramikpulvers zu mechanisch stabilen Schichten möglich ist. Die Schichten zeichnen sich durch eine dichte nanokristalline Schichtstruktur und eine sehr gute Substratanbindung aus. Im ersten Versuchsteil konnte sowohl auf Edelstahl- als auch auf Al2O3-Substraten ein linearer Zusammenhang zwischen der erzielten Schichtdicke der aerosolkaltabgeschiedenen NTCR-Schicht und der Anzahl an Überfahrtsschleifen nachgewiesen werden. Basierend auf diesen Erkenntnissen wurden im zweiten Versuchsteil chipbasierte NTCR-Bauteile der Baugröße...
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