P2.10 Entwicklung eines taktilen Mikrotaster-Messsystems für Hochgeschwindigkeitsmessung von Form, Rauheit und mechanischen Eigenschaften

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Im Rahmen eines europäischen EMPIR-Projekts soll das Messprinzip der Kontaktresonanzspektroskopie auf 5 mm × 200 μm × 50 μm (L × B × D) große, piezoresistive Tastsensoren angewandt werden. Dieses Messverfahren ist im Bereich der Rasterkraftmikroskopie bereits etabliert. Da die hier verwendeten Sensoren jedoch deutlich größer sind als im Bereich der Rasterkraftmikroskopie üblich, sind einige der dort geltenden Vereinfachungen nicht mehr anwendbar. In dieser Arbeit werden Verfahren vorgestellt, die die Auswertung von Messwerten der verwendeten...
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